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...2H - 2系统电子助进热丝化学气相沉积动力学过程研究 - 百度学术
本工作采用蒙特卡罗方法,首次对以H_2/C_2H_2为源气体合成金刚石薄膜的 EACVD过程进行了研究,初步建立了EACVD气相动力学模型.主要结果如下:(1) 研究了氢原子的产生及其...
百度学术CH - 4/H - 2系统电子助进化学气相沉积气相过程研究 - 百度学术
马博琴 - 《河北大学》 - 2002
本工作采用蒙特卡罗(Monte-Carlo)计算机模拟的方法,对以CH_4/H_2为源气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石薄膜中的气相分解过程进行了研究,初步建立了EACVD气相动...
热丝化学气相沉积制备大面积金刚石薄膜工艺的研究 - 百度学术
陈琦 - 《天津理工大学》 - 2008
由于金刚石薄膜有许多特殊而优越的性质,长期以来人类一直对它进行各种性质研究,以期充分利用.近年来,化学气相沉积金刚石的研究取得了很大进展,在某些方面已达到了实用...
化学气相沉积金刚石薄膜成核机理研究 - 百度学术
本文综述了在化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition ,CVD) 金刚石薄膜过程中非金刚石衬底表面金刚石成核机理研究进展.主要讨论了衬底表面缺陷诱导金刚石成核模型,指...